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上海某技术研发中心有限公司8寸MEMS项目，主要废气为酸性废气（HCL HF H2SO4 HNO3 等）、碱（NH3等）、有机废气（IPA等），（酸排气22500CMH*3套，碱排气14000CMH*2套，有机排气28000CMH*2套，一般排气30000CMH*3套），一期项目 于2017年5月安装完成，废气处理系统位于室内，设计美观，满足客户需求，得到客户的好评与认可。
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